发明名称 | 带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构 | ||
摘要 | 本发明涉及一种带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构,包括衬底、悬臂梁的锚区、悬臂粱、涂覆于衬底表面的静电下拉电极和接触电极以及弯梁电热执行器。所述弯梁电热执行器由锚区和通电可膨胀的两个弯梁分支组成;所述弯梁通过连接在分支末端的两个锚区的支撑,悬浮在衬底的上方和悬臂梁末端附近的下方,通电加热后,弯折端可向前延伸。本发明提供一种可以有效解决粘附失效问题的悬臂梁结构,从结构设计上增加弯梁电热执行器消除粘附,改善了因粘附而导致的故障率高、维护难、效率低的缺陷,提高运作的稳定性和可靠性,具有重要的实用价值。 | ||
申请公布号 | CN103552974B | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
申请号 | CN201310565414.4 | 申请日期 | 2013.11.14 |
申请人 | 东南大学 | 发明人 | 唐洁影;蒋明霞;王磊 |
分类号 | B81B3/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
代理机构 | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人 | 王斌 |
主权项 | 一种带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构,包括衬底(1)、与悬臂梁一端连接的锚区(2)、悬臂粱(3)、位于悬臂梁(3)正下方的静电下拉电极(4)和位于悬臂梁(3)末端下方的接触电极(5),其中悬臂梁(3)通过锚区(2)悬挂在衬底(1)的上方,下拉电极(4)和接触电极(5)涂敷于衬底(1)的上表面,其特征在于:所述衬底(1)的上表面还设置有第一锚区(61)、第二锚区(62)和弯梁组成的弯梁电热执行器,该弯梁由第一分支梁(71)和第二分支梁(72)组成,弯梁的两端与悬臂梁两侧的第一锚区(61)和第二锚区(62)连接而悬浮在衬底(1)的上方,且该弯梁位于悬臂梁(3)的下方;第一分支梁(71)和第二分支梁(72)的连接处位于悬臂梁(3)的正下方且靠近悬臂梁末端。 | ||
地址 | 210096 江苏省南京市四牌楼2号 |