发明名称 |
激光遮挡构件、激光处理装置及激光照射方法 |
摘要 |
为了将线束分割,以能够确保对被处理体避免照射的部分,并能将分割后的线束照射到被处理体上,将遮挡构件的一部分或全部以能相对于线束形状的激光的光路相对移动的方式设置在所述光路上,随着移动能对分割后的线束的形状进行调节,从而能够获得以根据遮挡构件的移动位置决定的形状将线束分割后得到的线束,将该线束照射到被处理体上,不必花费光学系统的更换及调节的时间等,就能不对照射不妥的部位及不想照射的部位等照射激光地将线束照射到被处理体上,能够生产率佳且品质良好地进行期望的加工。 |
申请公布号 |
CN105144344A |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201480021820.7 |
申请日期 |
2014.04.10 |
申请人 |
株式会社日本制钢所 |
发明人 |
郑石焕;泽井美喜;次田纯一 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;B23K26/066(2006.01)I;B23K26/351(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
胡曼 |
主权项 |
一种激光遮挡构件,是对线束形状的激光的一部分的透过进行遮挡,形成照射到被处理体上的多条分割了的线束的遮挡构件,其特征在于,该遮挡构件设置成相对于所述线束形状的激光的光路,该遮挡构件的一部分或全部能相对地移动,随着所述移动能对分割后的所述线束的形状进行调节。 |
地址 |
日本东京 |