真空腔冷却装置

摘要

本实用新型公开了真空腔冷却装置，其包括用于对挡板进行冷却的冷却水管和支撑架，支撑架包括放置在真空腔底面上的底座和设置在底座两端的端板；端板上设置有用于吊装冷却装置的吊装孔；两块挡板分别固定安装在底座的两侧，两块挡块之间的间隙形成集中溅射靶材到玻璃上的通道；挡板外侧的底座上固定安装有与挡板接触呈U字形的连接板；冷却水管固定安装在连接板与挡板之间形成的空腔内；底座的下方设置用于防止靶材溅射到传动辊上的保护装置。

主权项

真空腔冷却装置，包括用于对挡板进行冷却的冷却水管，其特征在于：还包括支撑架，所述支撑架包括放置在真空腔底面上的底座和设置在所述底座两端的端板；所述端板上设置有用于吊装冷却装置的吊装孔；两块挡板分别固定安装在底座的两侧，两块挡块之间的间隙形成集中溅射靶材在玻璃上的通道；所述挡板外侧的底座上固定安装有与所述挡板接触、且呈U字形的连接板；所述冷却水管固定安装在所述连接板与所述挡板之间形成的空腔内；所述底座的下方设置用于防止靶材溅射到传动辊上的保护装置。