| 摘要 |
Procédé de réalisation d'un dispositif N/MEMS comportant une structure dotée d'une partie active ayant un premier élément suspendu et un deuxième élément suspendu d'épaisseurs différentes, le procédé comprenant des étapes suivantes :
- Former dans un premier substrat (100) une zone sacrificielle (105),
- Reporter une couche donnée sur la zone sacrificielle,
- Définir dans ladite couche donnée un premier élément suspendu en regard de la première zone sacrificielle,
- Définir un deuxième élément suspendu dans le premier substrat et ladite couche donnée,
- Libérer au moins le premier élément suspendu. |
