发明名称 Method of measuring energy distribution of electron emission from cathodes with a small virtual source and energy spectrometer for making the same
摘要 Elektronový svazek (1) ve vakuovém prostředí se nejdříve prvním magnetickém polem (2) zaostří, vymezí se velikost aperturního úhlu elektronového svazku (1), který se pak druhým magnetickým polem (5) vyhne do strany. Vyhnutý elektronový svazek (1) se třetím magnetickým polem (6) rozšíří. Načež se odečte a vyhodnotí čárové spektrum vytvořené rozšířeným elektronovým svazkem (1) na scintilačním průhledovém stínítku (7). Energiový spektrometr obsahuje elektronovou trysku (8) s katodou s malým virtuálním zdrojem, k níž se přiřadí kondensorová čočka (9) pro zaostření elektronového svazku (1) emitovaného z elektronové trysky (8). Za ní ve směru optické osy (10) energiového spektrometru je uspořádána clona (3) pro optimalizaci průměru elektronového svazku (1) před jeho vstupem do magnetického hranolu (11) pro vychýlení elektronového svazku (1), uspořádaného za clonou (3) ve směru optické osy (10) energiového spektrometru. Za ním ve směru optické osy (10) energiového spektrometru je uspořádáno první scintilační průhledové stínítko (4) pro umožnění kontroly zaostření elektronového svazku (1). Za magnetickým hranolem (11) ve směru optické osy (10) magnetickým hranolem (11) vychýleného elektronového svazku (1) je uspořádána projektorová čočka (12) pro zvětšení rozměru spektra. Za projektorovou čočkou (12) je uspořádáno druhé scintilační průhledové stínítko (7) pro zobrazení čárového spektra energiového rozdělení elektronové emise.
申请公布号 CZ20140373(A3) 申请公布日期 2015.12.09
申请号 CZ20140000373 申请日期 2014.06.02
申请人 DELONG INSTRUMENTS A.S. 发明人 KOLAŘÍK VLADIMÍR
分类号 H01J37/285;H01J37/24 主分类号 H01J37/285
代理机构 代理人
主权项
地址