环形等离子体处理装置

摘要

一种包含真空室的等离子体处理装置，该真空室包含：管道、处理室、用于将气体引入真空室内的第一气体输入口，以及用于从真空室中排出气体的泵出口。磁芯包围着管道。射频电源的输出与磁芯电连接。射频电源给磁芯供电，由此在真空室内形成环形等离子体回路放电。用于在等离子体处理期间支撑工件的台板位于处理室内。

主权项

一种等离子体处理装置，包含：a)真空室，包含：管道、处理室、用于将气体引入所述真空室的第一气体输入口，以及用于将气体从所述真空室排出的泵出口；b)包围所述管道的磁芯；c)具有与所述磁芯电连接的输出的射频电源，所述射频电源给所述磁芯供电，由此在所述真空室内形成环形等离子体回路放电；以及d)用于支撑在等离子体处理期间位于所述处理室内的工件的台板。