| 发明名称 | 用于监视半导体制作的方法及设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于对半导体制作进行过程监视的半导体芯片，其具有多个阵列，所述多个阵列具有多个二极管，每一二极管形成于所述芯片中，每一二极管与具有至少一个水平互连件(410)的堆叠相关联，所述堆叠与所述二极管串联连接以形成二极管堆叠组合，其中所述水平互连件具有经自对准硅化多晶硅互连件，所述经自对准硅化多晶硅互连件包括互补经掺杂多晶硅区段(412、414)以形成经反向偏置二极管。 | ||
| 申请公布号 | CN105144360A | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201480013984.5 | 申请日期 | 2014.03.04 |
| 申请人 | 密克罗奇普技术公司 | 发明人 | 兰迪·亚奇 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 沈锦华 |
| 主权项 | 一种用于对半导体制作进行过程监视的半导体芯片，其包括：多个阵列，其进一步包括：多个二极管，每一所述二极管形成于所述芯片中，每一所述二极管与包括至少一个水平互连件的堆叠相关联，所述堆叠与所述二极管串联连接以形成二极管堆叠组合，其中所述水平互连件包括经自对准硅化多晶硅互连件，所述经自对准硅化多晶硅互连件包括互补经掺杂多晶硅区段以形成经反向偏置二极管。 | ||
| 地址 | 美国亚利桑那州 | ||