| 发明名称 | 一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置 | ||
| 摘要 | 一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于：包括：一主体（1），该主体（1）为拉制工艺制作的铝型材，该主体（1）内设有相互平行的沿长度方向的第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）；以及一第一端板（2），封设于所述主体（1）的一端，该第一端板（2）内设通道将所述第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）连通。本实用新型制作成本低、质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；并且，因主体是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置与真空腔室的侧壁完全贴合，最大程度地起到冷却效果。 | ||
| 申请公布号 | CN204849012U | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201520509257.X | 申请日期 | 2015.07.15 |
| 申请人 | 中建材光电装备（太仓）有限公司 | 发明人 | 郭庆;李险峰;臧晓良;黄琨;凌晨 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 马明渡;徐丹 |
| 主权项 | 一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于：包括：一主体（1），该主体（1）为拉制工艺制作的铝型材，该主体（1）内设有相互平行的沿长度方向的第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）；以及一第一端板（2），封设于所述主体（1）的一端，该第一端板（2）内设通道将所述第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）连通。 | ||
| 地址 | 215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区长江路189号 | ||