电容式指纹辨识的结构及其制造方法

摘要

本发明公开一种电容式指纹辨识的结构，包括：多个感测电极、一第一保护层以及一介电材料层。并且，本发明还包括一电容式指纹辨识的结构制造方法。其中，该第一保护层设置有至少一沟槽，该至少一沟槽对应设置于该多个感测电极位置处之上，该介电材料层填充于该至少一沟槽，其中该介电材料层的介电系数为4-20之间。本发明藉由高介电(high-k dielectric)材料填充于该至少一沟槽，可有效增加电容式指纹辨识的灵敏度。

主权项

一种电容式指纹辨识的结构，其特征在于，包括：多个感测电极，形成为阵列排列，用以作为指纹辨识区域；一第一保护层，设置于该多个感测电极之上，该第一保护层设置有至少一沟槽，该至少一沟槽对应设置于该多个感测电极位置处之上；以及一介电材料层，设置于该第一保护层之上，并且该介电材料层填充于该至少一沟槽，其中该介电材料层的介电系数为4‑20之间。