一种镀膜机的抽真空装置

摘要

本实用新型涉及一种镀膜机的抽真空装置，其特征在于：包括一个溅射室，溅射室、与溅射室相连通的抽真空机构以及调整机构，有益效果在于：通过在溅射室内设置调整机构，在镀膜时可以根据需求转动旋转平台，调整基板的角度，从而保证基材在镀膜的均匀性，配合设置在溅射室上方的热风机构，并配合旋转平台的设置，使得溅射室内形成中心扩散风流向，保证镀膜产品的干燥程度均一；设置抽真空机构，并利用抽真空泵，配合低真空规与高真空阀的设置，保证镀膜时方便调整溅射室内的真空度，从而获得高质量的镀膜产品；设置过滤器和电磁阀，通过抽真空泵对溅射室内空气进行抽取，经过过滤器进行过滤，电磁阀控制排气量，方便的控制溅射室内的真空度。

主权项

一种镀膜机的抽真空装置，其特征在于：包括一个溅射室，所述溅射室、与溅射室相连通的抽真空机构以及调整机构，所述调整机构包括一个水平设置在所述溅射室内的能够转动的旋转平台、位于旋转平台上的基板，所述旋转平台通过一个连接转轴与一个控制电机相连接，所述溅射室设置进气管道，排气管道与抽真空管道，所述抽真空机构包括依次连接设置的冷凝器与过滤器，冷凝器通过抽真空管道与所述溅射室相连通，所述过滤器通过一个调节阀与一个抽真空泵相连接，所述排气管道与所述抽真空泵相连通，抽真空泵与溅射室之间的排气管道上设置有电磁阀。