| 摘要 |
<p>본 발명은 제조공정 중 고온처리를 줄일 수 있는 캡형 정전척 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 캡형 정전척은 기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서, 하면의 중심영역에 하부방향으로 개구되는 포켓홈부를 형성하도록 하면의 가장자리에서 하부방향으로 돌출되는 차단링부가 형성되고, 상기 하면의 포켓홈부에 전극이 인쇄된 상부 유전체와; 상기 상부 유전체의 포켓홈부에 형성되어 상기 전극을 덮어서 절연시키는 절연피막층과; 400℃이하에서 경화되는 유전재료로 형성되고, 상면이 상기 절연피막층의 하면에 접합되도록 상기 상부 유전체의 포켓홈부에 형성되는 하부 유전층과; 상면이 본딩층을 매개로 상기 하부 유전층의 하면 및 상기 차단링부의 하면에 접합되는 베이스 바디를 포함한다.</p> |
