| 摘要 |
본 발명은 외부로부터 주입된 서로 다른 종류의 가스를 각각 수용하기 위한 복수의 상부구획공간을 구비하는 상부 헤드부와, 상기 상부구획공간의 가스를 이송 중인 기판으로 공급하기 위한 하부슬릿을 구비하는 하부 헤드부와, 상기 상부 및 하부 헤드부의 사이에 결합되며 상기 상부구획공간에 대응되는 복수의 중간구획공간을 구비하는 중간 헤드부, 및 상기 각 하부슬릿으로부터 상기 다른 종류의 가스가 특정 순서대로 배출되도록 하되 상기 특정 순서가 반복되도록 상기 각 중간구획공간에 분산 배치되는 복수의 중간슬릿을 포함하는 원자층 증착용 헤드 및 이를 구비하는 원자층 증착 장치를 개시한다. |
