| 摘要 |
본딩 공정에서의 깨짐의 발생을 억제시킬 수 있는 산화물 소결체, 및 상기 산화물 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 산화물 소결체는, 산화인듐과, 산화갈륨과, 산화주석을 소결하여 얻어지는 산화물 소결체이며, 산화물 소결체의 상대 밀도가 90％ 이상, 산화물 소결체의 평균 결정립경이 10㎛ 이하이고, 산화물 소결체에 포함되는 전체 금속 원소에 대한, 인듐, 갈륨, 주석의 함유량의 비율(원자％)을 각각, [In], [Ga], [Sn]으로 하였을 때, 30원자％≤[In]≤50원자％, 20원자％≤[Ga]≤30원자％, 25원자％≤[Sn]≤45원자％를 만족시킴과 함께, InGaO상은 [InGaO]≥0.05를 만족시킨다. |
