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<p>Schauglas für eine aus einzelnen Anlagenkammern bestehende Vakuumbehandlungsanlage zur optischen Kontrolle von Vorgängen in der Anlagenkammer (2), wobei die Anlagenkammer eine Wand (3), die atmosphärischen (4) von subatmosphärischen Druck (5) trennt, aufweist, das Schauglas (1) ein fest integrierter Teil der Wand (3) ist, das Schauglas (1) eine Glasscheibe und eine Einfassung (11) aufweist und die Glasscheibe in der Einfassung (11) und die Einfassung (11) in der Wand (3) befestigt ist, wobei eine optische Linie (9), die den optischen Verlauf durch das Schauglas (1) hindurch beschreibt, vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasscheibe ein als Prisma (10) bezeichnetes Keilprisma oder ein Ausschnitt aus einem solchen derart ist, dass das Prisma (10) zwei ebene Durchlassflächen (12, 13), die die optische Linie (9) durchdringt, und eine Mantelfläche (14) aufweist, und dass die Durchlassflächen (12, 13) winklig zueinander angeordnet sind, sodass die optische Linie (9) mindestens einmal an einer Durchlassfläche (12, 13) gewinkelt ist.</p> |
