发明名称 |
NANODRAHTSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN |
摘要 |
Ein Bauelement umfasst eine erste Gruppe von Nanodrähten, die eine erste Struktur aufweisen, eine zweite Gruppe von Nanodrähten, die eine zweite Struktur aufweisen, eine dritte Gruppe von Nanodrähten, die eine dritte Struktur aufweisen und eine vierte Gruppe von Nanodrähten, die eine vierte Struktur aufweisen, wobei die erste Struktur, die zweite Struktur, die dritte Struktur und die vierte Struktur eine sich wiederholende Struktur ausbilden. |
申请公布号 |
DE102015104483(A1) |
申请公布日期 |
2015.12.03 |
申请号 |
DE201510104483 |
申请日期 |
2015.03.25 |
申请人 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. |
发明人 |
FU, CHING-FENG;CHEN, DE-FANG;YEN, YU-CHAN;LEE, CHUN-HUNG;LEE, CHIA-YING;LIN, HUAN-JUST |
分类号 |
H01L29/775;B82B3/00;H01L21/335;H01L21/8232;H01L27/085 |
主分类号 |
H01L29/775 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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