发明名称 Pulssynchronisierung durch Überwachung einer Leistung in einem anderen Frequenzband
摘要 <p>Ein Hochfrequenz-(HF)Leistungsabgabesystem aufweisend einen ersten HF-Generator und einen zweiten HF-Generator. Der erste HF-Generator arbeitet als Master-HF-Generator und der zweite HF-Generator arbeitet als Slave-HF-Generator. Der Slave-HF-Generator weist einen Detektor zum Erfassen einer elektrischen Eigenschaft des HF-Signals des Slave-HF-Generators auf. Der Slave-HF-Generator weist auch einen Detektor zum Erfassen einer elektrischen Eigenschaft des HF-Signals vom Master-HF-Generator auf. Der Betrieb des Slave-HF-Generators wird von einem Host oder einer Steuereinrichtung gesteuert. Der Host oder die Steuereinrichtung betreibt den Slave-HF-Generator gemäß elektrischen Eigenschaften, die vom zweiten Detektor bestimmt werden.</p>
申请公布号 DE112013006834(T5) 申请公布日期 2015.12.03
申请号 DE20131106834T 申请日期 2013.11.21
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 NELSON, NICHOLAS;COUMOU, DAVID J.
分类号 H05H1/36;H05H1/46 主分类号 H05H1/36
代理机构 代理人
主权项
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