发明名称 |
Pulssynchronisierung durch Überwachung einer Leistung in einem anderen Frequenzband |
摘要 |
<p>Ein Hochfrequenz-(HF)Leistungsabgabesystem aufweisend einen ersten HF-Generator und einen zweiten HF-Generator. Der erste HF-Generator arbeitet als Master-HF-Generator und der zweite HF-Generator arbeitet als Slave-HF-Generator. Der Slave-HF-Generator weist einen Detektor zum Erfassen einer elektrischen Eigenschaft des HF-Signals des Slave-HF-Generators auf. Der Slave-HF-Generator weist auch einen Detektor zum Erfassen einer elektrischen Eigenschaft des HF-Signals vom Master-HF-Generator auf. Der Betrieb des Slave-HF-Generators wird von einem Host oder einer Steuereinrichtung gesteuert. Der Host oder die Steuereinrichtung betreibt den Slave-HF-Generator gemäß elektrischen Eigenschaften, die vom zweiten Detektor bestimmt werden.</p> |
申请公布号 |
DE112013006834(T5) |
申请公布日期 |
2015.12.03 |
申请号 |
DE20131106834T |
申请日期 |
2013.11.21 |
申请人 |
MKS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
NELSON, NICHOLAS;COUMOU, DAVID J. |
分类号 |
H05H1/36;H05H1/46 |
主分类号 |
H05H1/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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