发明名称 |
特定の結晶学的特徴を有するIII−V族基板材料および形成方法 |
摘要 |
<p>半導体材料を含むベース基板を提供すること、および13−15族材料を有する、ベース基板を覆う第1の半導体層を、ハイドライド気相成長(HVPE)を通じて形成することを含む、半導体基板を形成する方法であって、第1の半導体層が、N面配向を有する上面を有する方法。</p> |
申请公布号 |
JP2015534531(A) |
申请公布日期 |
2015.12.03 |
申请号 |
JP20150530388 |
申请日期 |
2013.09.05 |
申请人 |
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发明人 |
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分类号 |
C30B29/38;C23C16/01;C23C16/34;C30B25/20;H01L21/20;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/38 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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