发明名称 特定の結晶学的特徴を有するIII−V族基板材料および形成方法
摘要 <p>半導体材料を含むベース基板を提供すること、および13−15族材料を有する、ベース基板を覆う第1の半導体層を、ハイドライド気相成長(HVPE)を通じて形成することを含む、半導体基板を形成する方法であって、第1の半導体層が、N面配向を有する上面を有する方法。</p>
申请公布号 JP2015534531(A) 申请公布日期 2015.12.03
申请号 JP20150530388 申请日期 2013.09.05
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;C23C16/01;C23C16/34;C30B25/20;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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