图像相关位移传感器

摘要

一种图像相关位移传感器，其用于以简单构造测量沿着与目标表面垂直的方向的位移分量。所述传感器可以包括：照射部分(130′)，其发出照射光；成像部分，其包括至少两个光路(A和B′)和元件(110′)，所述两个光路用于捕捉由目标表面(300)产生的散斑场的多个图像，其中一个光路(A)在接近目标表面处相对于目标表面的法线倾斜，所述元件(110′)使光路(A和B′)中的至少一方偏转；以及处理部分(200)，其根据沿光路(A)和(B′)捕捉的多个图像的相关性测量沿着包括与目标表面(300)垂直的分量的方向的相对于目标表面的位移。

主权项

一种图像相关位移传感器，其用于测量相对于目标表面的位置位移，所述图像相关位移传感器包括：照射部分，其向所述目标表面发出照射光以产生散斑场；成像部分，其包括第一光路和第二光路，所述第一光路用于捕捉在所述目标表面上产生的所述散斑场的多个图像并且所述第一光路在接近所述目标表面处相对于所述目标表面的法线倾斜，所述第二光路用于捕捉在所述目标表面上产生的所述散斑场的多个图像并且所述第二光路在接近所述目标表面处相对于所述第一光路倾斜，所述成像部分还包括使所述第一光路和所述第二光路中的至少一方偏转的元件；以及处理部分，其根据沿所述第一光路捕捉的所述多个图像和沿所述第二光路捕捉的所述多个图像测量沿着包括与所述目标表面垂直的分量的方向的相对于所述目标表面的位移，所述第一光路和所述第二光路包括远心光学系统；以及所述元件位于所述远心光学系统的输入侧和所述目标表面之间。