发明名称 微结晶蓝宝石抛光液
摘要 本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液,其由下述重量百分比的原料组成:纳米二氧化硅20-40%;碱性化合物1-10%;分散剂0.1-3%;表面活性剂0.1-3%;保湿成分0.1-3%;吸湿成分0.1-5%;余量为去离子水。本发明抛光液在加入保湿成分的同时加入吸湿成分,这样可以在减少水分蒸发的基础上吸收空气中的水分,使抛光液不易凝结在机台上,同时不易风干在蓝宝石晶片表面,降低了后期清洗工艺的难度,提高了生产效率。
申请公布号 CN105111942A 申请公布日期 2015.12.02
申请号 CN201510575373.6 申请日期 2015.09.10
申请人 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 发明人 代克;王乐军;徐明艳;周万里
分类号 C09G1/02(2006.01)I 主分类号 C09G1/02(2006.01)I
代理机构 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 代理人 王聚才;杨海霞
主权项 一种微结晶蓝宝石抛光液,其特征在于,由下述重量百分比的原料组成:纳米二氧化硅   20-40%;碱性化合物     1-10%;分散剂         0.1-3%;表面活性剂     0.1-3%;保湿成分       0.1-3%;吸湿成分       0.1-5%;余量为去离子水。
地址 450001 河南省郑州市高新区梧桐街121号