一种原位表征系统分子束外延生长源的延伸装置

摘要

本发明公开了一种原位表征系统分子束外延生长源的伸长装置，它包括有支撑套（11）、限孔盲板（14）、大齿轮（12）、小齿轮（15）、旋转杆（17）和延伸管（28），在支撑套的管腔（11a）的口部装有限孔盲板（14），管腔（11a）内部装有相互啮合的大齿轮（12）和小齿轮（15），旋转杆（17）靠近管腔（11a）内侧壁，小齿轮（15）固定在旋转杆（17）中段，限孔盲板（14）中心开有分子束通孔（35），大齿轮（12）在转轴侧边沿轴向开有分子束过孔（35），延伸管（28）固定插接在支撑套（11）的管筒（11b）内。本发明的技术效果是：解决了原位表征系统分子束外延生长源发散度大的问题，实现了分子在衬底的微小区域生长，避免了真空部件污染，提高了工作效率。

主权项

一种原位表征系统分子束外延生长源的延伸装置，其特征是：包括有支撑套 （11）、限孔盲板（14）、大齿轮（12）、小齿轮（15）、旋转杆（17）和延伸管（28），支撑套 （11）具有管腔（11a）和管筒（11b），管腔（11a）顶面开有旋转杆通孔（11c），在支撑套的管腔（11a）的口部装有限孔盲板（14），管腔（11a）内部装有相互啮合的大齿轮（12）和小齿轮（15），旋转杆（17）靠近管腔（11a）内侧壁，旋转杆（17）上端穿过旋转杆通孔（11c）伸出管腔（11a）顶面、下端活动套在限孔盲板（14）的孔中，小齿轮（15）固定在旋转杆（17）中段，大齿轮（12）的转轴设在限孔盲板（14）内表面上且靠小齿轮（15）一侧偏离限孔盲板中心，限孔盲板（14）中心开有分子束通孔（35），大齿轮（12）在转轴侧边沿轴向开有分子束过孔（35），延伸管（28）固定插接在支撑套（11）的管筒（11b）内。