HYBRID VIBRATION ISOLATION SYSTEMS FOR METROLOGY PLATFORMS

摘要

능동 및 수동 진동 격리 디바이스 둘 다를 포함하는 계측 툴이 제공된다. 계측 툴은, 광범위한 주파수 및 강도의 진동을 완충하고 감소시키기 위해 계측 툴의 상이한 지지 구조체에 결합되는 구속층 댐퍼, 입자 충격 댐퍼 또는 액체 충격 댐퍼, 및/또는 노이즈 소거 트랜스듀서와 같은 수동 또는 능동 격리 시스템을 포함할 수도 있다. 제공되는 원리에 따라 특정 툴 구성을 결정하기 위해, 주파수 범위 스펙트럼 분석 및 최적화가 적용될 수도 있다.