面向半导体制造设备功能仿真的参数变化规律模拟系统

摘要

本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统，包括：系统界面接口，PID变化规律模块，所述PID变化规律模块包括保存PID配置参数的结构体，用户自定义变化规律模块，所述用户自定义变化规律模块包括保存用户自定义变化规律的配置参数的结构体，和变化规律线程管理模块，所述变化规律线程管理模块针对一个参数变化规律开启一个线程，并在变化条件满足后自动结束所述线程，以及根据哈希表对所述线程进行管理以开启或结束变化规律线程。本发明具有配置简单、适应性强、贴近实际的特点，而且克服了同一个设备属性参数在不同的变化规律之间进行切换的问题。

主权项

一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统，其特征在于，包括：系统界面接口，所述系统界面接口向其他仿真系统提供统一界面以使其他仿真系统对所述运行参数变化规律模拟系统进行调用；PID变化规律模块，所述PID变化规律模块包括保存PID配置参数的结构体，其中的PID类提供PID调用接口，其中，其他仿真系统通过传递合适的参数给所述PID调用接口以求取设备属性参数下一时刻的数值；用户自定义变化规律模块，所述用户自定义变化规律模块包括保存用户自定义变化规律的配置参数的结构体，其中，Custom类对外提供调用接口，用户传递合适的参数给所述Custom类对外提供调用接口以获得设备属性参数下一时刻的数值；和变化规律线程管理模块，所述变化规律线程管理模块针对一个参数变化规律开启一个线程，并在变化条件满足后自动结束所述线程，以及根据哈希表对所述线程进行管理以开启或结束变化规律线程；切换模块，所述切换模块提供变化规律列表以实现各变化规律之间的切换，其中，更改变化规律为在所述变化规律列表中添加变化规律，并更改变化规律执行的索引标记序号；读写与保存模块，所述读写与保存模块保存每个变化规律的配置数据，并将其保存在变化规律库中，其中，所述配置数据保存在XML文档中；XML文档索引模块，每次在所述读写与保存模块中保存一个新的XML文档时，所述XML文档索引模块在索引文件中进行记录，以及在索引框中拖动滚动条时，将索引文件中的条目动态地加载到哈希表中，并始终保持所述哈希表中的索引项数量不变以控制所述索引所占用的内存空间；数学公式解析模块，所述数学公式解析模块查找数学函数名称，并根据函数名称分解字符串，在子字符串中查找参数和运算符，之后根据所述参数和运算符分析子字符串以获得最后的变化规律数学表达式。