发明名称 |
一种存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法 |
摘要 |
本发明公开了一种存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法,包括柜体,柜体侧壁下部开设有坩埚存放口、且侧壁上部开设有坩埚取出口,柜体内从上至下依次设有用于吸附坩埚的吸附组件、用于存储坩埚的坩埚挂板组件和用于带动坩埚上下运动的升降组件,多个坩埚依次叠加且挂载于坩埚挂板组件上,升降组件靠近坩埚存放口设置用于将要存放的坩埚向上提升并挂载在坩埚挂板组件上,吸附组件靠近坩埚取出口设置且处于坩埚挂板组件的上方用于吸附经升降组件提升上来的坩埚。本发明具有坩埚存放多、柜体空间小、存取过程方便快捷、能连续存取的优点。 |
申请公布号 |
CN105108723A |
申请公布日期 |
2015.12.02 |
申请号 |
CN201510637975.X |
申请日期 |
2015.09.30 |
申请人 |
湖南三德科技股份有限公司 |
发明人 |
肖兵球;吴成乞;李冬军 |
分类号 |
B25H3/00(2006.01)I |
主分类号 |
B25H3/00(2006.01)I |
代理机构 |
湖南兆弘专利事务所 43008 |
代理人 |
赵洪;周长清 |
主权项 |
一种存取分开式的坩埚自动存取柜,包括柜体(1),其特征在于,所述柜体(1)侧壁下部开设有坩埚存放口(11)、且侧壁上部开设有坩埚取出口(12),所述柜体(1)内从上至下依次设有用于吸附坩埚(2)的吸附组件(3)、用于存储坩埚(2)的坩埚挂板组件(4)和用于带动坩埚(2)上下运动的升降组件(5),多个所述坩埚(2)依次叠加且挂载于坩埚挂板组件(4)上,所述升降组件(5)靠近坩埚存放口(11)设置用于将要存放的坩埚(2)向上提升并挂载在坩埚挂板组件(4)上,所述吸附组件(3)靠近坩埚取出口(12)设置且处于坩埚挂板组件(4)的上方用于吸附经升降组件(5)提升上来的坩埚(2)。 |
地址 |
410205 湖南省长沙市高新区桐梓坡西路558号 |