一种光学邻近效应修正离焦模型的校准方法

摘要

本发明公开了一种光学邻近效应修正离焦模型的校准方法，使用初始OPC离焦模型模拟所有数据点在各个离焦条件下的线宽，得出每个数据点在不同离焦条件下线宽的变化范围，再选择线宽变化范围比较大的数据点作为建立离焦模型的数据点，同时加入若干个经过OPC修正的二维测试图形，以保证模型对二维图形预测的准确度。本发明提供的光学邻近效应修正离焦模型的校准方法，通过选择对焦距变化较为敏感的数据点来收集晶圆数据，大大减少了数据点的数量，缩短了OPC离焦模型校准的耗时，同时，在OPC离焦模型数据收集中加入二维测试图形，可以保证离焦模型对二维图形的预测的准确性。

主权项

一种光学邻近效应修正离焦模型的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S01、建立初始PWOPC离焦模型；步骤S02、使用各离焦条件的PWOPC模型，模拟所有数据点在不同离焦条件下的线宽值；步骤S03、计算每个数据点在各离焦条件下的线宽值的变化范围；步骤S04、按照线宽值的变化范围对所有数据点进行从大到小的排序；步骤S05、选取线宽值的变化范围大的数据点作为建立离焦模型的数据点；步骤S06、加入若干经过OPC修正的二维测试图形作为建立离焦模型的数据点；步骤S07、采用上述测试图形收集晶圆数据，校准PWOPC模型。