一种机械手臂及基板的转运方法

摘要

本发明提供一种机械手臂及基板的转运方法，属于机械技术领域，其可解决现有的在基板转运过程中，由于机械手臂支撑基板导致的基板变形，发生下垂或翘曲的问题。本发明的机械手臂，包括主支撑臂和至少一个辅助支撑臂，所述主支撑臂用于支撑基板，所述辅助支撑臂与所述主支撑臂连接，且所述辅助支撑臂设置在所述主支撑臂的两侧，所述辅助支撑臂上设置有多个气孔，所述气孔用于向所述基板喷出气体，以避免所述基板下垂或翘曲。

主权项

一种机械手臂，其特征在于，包括主支撑臂和至少一个辅助支撑臂，所述主支撑臂用于支撑基板，所述辅助支撑臂与所述主支撑臂连接，且所述辅助支撑臂设置在所述主支撑臂的两侧，所述辅助支撑臂上设置有多个气孔，所述气孔用于向所述基板喷出气体，以避免所述基板下垂或翘曲。