一种单晶炉防爆安全装置

摘要

一种单晶炉防爆安全装置，单晶炉的抽空管道上设置有抽空过滤器和真空泵，从而利用真空泵将单晶炉内的挥发物吸入抽空管道和抽空过滤器内，防爆安全装置包括与抽空管道连通的输气管道、设置在输气管道上的控制阀、气体流量计和空气过滤器。本实用新型通过一根输气管道向抽空管道内输送空气，从而使抽空管道和抽空过滤器内的挥发物得到充分的氧化，避免了在清扫抽空管道和抽空过滤器时发生燃烧和爆炸；另外，在输气管道上设置空气过滤器能够有效防止空气中的杂质颗粒进入单晶炉内，同时，设置气体流量计可以严格控制进入输气管道内的空气量。

主权项

一种单晶炉防爆安全装置，单晶炉（4）的抽空管道（401）上设置有抽空过滤器（5）和真空泵（6），从而利用真空泵（6）将单晶炉（4）内的挥发物吸入抽空管道（401）和抽空过滤器（5）内，其特征在于：所述防爆安全装置包括一与抽空管道（401）连通的输气管道（7）、设置在输气管道（7）上的控制阀（1）、气体流量计（2）和空气过滤器（3），其中，控制阀（1）用于控制输气管道（7）向抽空管道（401）输送空气的通断，空气过滤器（3）设置在气体流量计（2）的进气口上，以对通过气体流量计（2）进入输气管道（7）的空气进行过滤。