氟化钙平晶两面平行度高精度测试装置

摘要

本实用新型公开了一种氟化钙平晶两面平行度高精度测试装置，包括双光束准直光源、可调光阑、长焦离轴平行光管、光斑位置探测CCD、图像处理计算机；其中所述长焦离轴平行光管由离轴抛物面镜、反射镜组成；双光束准直光源同时发射400nm、884nm双波段准直光束；光束经可调光阑改变光束直径后，入射被测氟化钙平晶；光束由氟化钙平晶出射后入射长焦离轴平行光管的离轴抛物面镜；光束经汇聚后由反射镜反射，并聚焦在光斑位置探测CCD的光敏面上；将捕获的光斑信息传输至图像处理计算机。本实用新型可以实现对不同口径氟化钙平晶的两面平行度进行高精度检测，测试精度优于20″，检测速度快，更加适合氟化钙平晶生产过程中的在线检测。

主权项

氟化钙平晶两面平行度高精度测试装置，其特征在于：包括双光束准直光源(1)，用于发射双波段准直光束；可调光阑(2)，设置于双光束准直光源(1)的光束发射端，用于调节光束直径；长焦离轴平行光管(4)，由离轴抛物面镜(5)、反射镜(6)组成，离轴抛物面镜(5)用于接收入射光束，汇聚后通过反射镜(6)反射出；光斑位置探测CCD(7)，用于接收反射镜(6)反射出的聚集光束；图像处理计算机(8)，连接至光斑位置探测CCD，用于处理光斑位置探测CCD(7)所采集到的光斑信息。