一种金属导线表面等离子处理方法

摘要

本发明提供一种金属导线表面等离子处理方法，包括如下步骤：第一步，预制靶材；第二步，组装；第三步，上电；第四步，反应；本发明将靶材制成圆筒状，圆筒状靶材相当于空心阴极，氩气在圆筒状靶材电场的作用下电离，轰击靶材内表面，轰击出的金属形成等离子体，通入的反应气体（氧气、氢气、氮气等）也形成等离子体，在金属导线负电位的吸引下共同沉积在金属导线表面，形成涂层，金属导线在导线辊的牵引下不断通过圆筒状靶材，从而在金属导线表面均匀地形成涂层，提高金属导线表面的理化性质；靶材设计结构合理，步骤连贯简洁，容易操作，有效降低生产成本，提高生产效率。

主权项

一种金属导线表面等离子处理方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步，预制靶材：将靶材制成圆筒状，圆筒直径为30‑8cm，圆筒的长度根据需要制作或分段，；第二步，组装：将金属导线从靶材的中间穿过且不与靶材接触，导线辊位于靶材的两边，将靶材放置在真空室中，靶材及导线辊均与真空室绝缘，金属导线在导线辊的牵引下不断通过圆筒状靶材，在金属导线表面均匀形成涂层；第三步，上电：通入氩气作为载气，靶材设为负电位，电压为‑1000~‑2800V；通过调整导线辊使不断移动的金属导线保持负电位，电压为‑100~‑500V；第四步，反应：通入反应气体，反应气体与氩气在圆筒金属电场的作用下电离，形成涂层均匀沉积在金属导线表面。