碱可溶性树脂及其制备方法

摘要

本发明提供一种碱可溶性树脂及其制备方法，属于高分子材料技术领域，其可解决现有的碱可溶性树脂及其制备的感光组合物显影性能差的问题。本发明通过高活性不饱和单体将四氢呋喃基（柔性官能团）引入到碱可溶性树脂中，提高了碱可溶性树脂的显影性能，获得了无侧壁侵蚀现象的表面光滑的光刻胶膜层。

主权项

一种碱可溶性树脂，所述的碱可溶性树脂由不饱和羧酸类组分聚合制备，其特征在于，所述的不饱和羧酸类组分包括带有四氢呋喃结构的不饱和羧酸酯类化合物；所述的碱可溶性树脂的重均分子量为8000‑25000，酸值为90‑110，粘度为100‑160mPa·s；所述的碱可溶性树脂按质量百分比计是由以下组分聚合制备的：不饱和羧酸类组分23‑27％；溶剂60～70％；引发剂3％～10％；分子量调节剂1‑3％；所述的不饱和羧酸类组分包括：不饱和羧酸类化合物、不饱和羧酸烷基酯类化合物、带有苯环的不饱和羧酸酯类化合物、带有四氢呋喃结构的不饱和羧酸酯类化合物；所述的不饱和羧酸类化合物为甲基丙烯酸或丙烯酸；所述的不饱和羧酸烷基酯类化合物包括甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸月桂酯中的任意一种；所述的带有苯环的不饱和羧酸酯类化合物为2‑苯基丙烯酸乙酯；所述的带有四氢呋喃结构的不饱和羧酸酯类化合物为丙烯酸四氢呋喃酯；所述的不饱和羧酸类组分按质量百分比计包括：不饱和羧酸类化合物3‑25％、不饱和羧酸烷基酯类化合物10‑80％、带有苯环的不饱和羧酸酯类化合物1‑40％、带有四氢呋喃结构的不饱和羧酸酯类化合物5‑25％。