| 发明名称 | 用于制备硅烷的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及通过甲硅烷在等离子体中转化用于制备二聚和/或三聚硅烷的方法和涉及用于进行所述方法的设备。 | ||
| 申请公布号 | CN105120998A | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201480023055.2 | 申请日期 | 2014.02.28 |
| 申请人 | 赢创德固赛有限公司 | 发明人 | J.E.朗;H.劳莱德;E.米 |
| 分类号 | B01J12/00(2006.01)I;C01B33/04(2006.01)I;C07F7/02(2006.01)I | 主分类号 | B01J12/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 邵长准;石克虎 |
| 主权项 | 用于制备通式I的二聚和/或三聚硅烷的方法，<img file="dest_path_image001.GIF" wi="154" he="73" />(I)其中n = 0或1，其中i) 包含通式II的甲硅烷和氢气的反应物料流<img file="542553dest_path_image002.GIF" wi="66" he="70" />(II)ii) 经历气体放电，和iii) 由所得相获得式I的二聚/或三聚硅烷，和在所得相中设定确定的氢气分压与在选择的条件下为气态的硅烷的分压的比例。 | ||
| 地址 | 德国埃森 | ||