发明名称 |
M E M S APPARATUS WITH INCREASED BACK VOLUME |
摘要 |
마이크로 전기 기계 시스템(MicroElectroMechanical System; MEMS) 마이크로폰 어셈블리는 베이스 및 커버를 포함한다. 상기 커버는 상기 베이스에 결합되어 있고 상기 베이스와 함께 캐비티(cavity)를 한정한다. 상기 베이스는 요부(recess)를 형성하며 상기 요부는 MEMS 다이를 수용하도록 하는 치수들 및 형상을 지닌다. 상기 MEMS 다이는 다이어프램 및 백 플레이트를 포함한다. |
申请公布号 |
KR20150135466(A) |
申请公布日期 |
2015.12.02 |
申请号 |
KR20157030651 |
申请日期 |
2014.03.21 |
申请人 |
KNOWLES ELECTRONICS, LLC |
发明人 |
CONKLIN WADE |
分类号 |
H04R19/04;H04R1/04;H04R1/28;H04R19/00 |
主分类号 |
H04R19/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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