发明名称 一种采用激光烧铜的产品加工工艺
摘要 本发明公开了一种采用激光烧铜的产品加工工艺,包括如下步骤:(1)蚀刻:对目标铜板进行正面蚀刻;(2)对步骤(1)中蚀刻完成的铜板进行固晶、打线和模压;(3)烧铜:对模压后的产品进行烧铜工艺,实现端电极露铜;(4)切割:对烧铜后的产品进行切割,完成产品的加工;其中,步骤(3)中烧铜工艺中采用的是激光烧铜的干式蚀刻工艺。通过采用激光蚀刻的方式完成模压后的烧铜工序,提高了烧铜精度,减小了产品误差,且不会有废水产生,制程时间也更短。
申请公布号 CN105118787A 申请公布日期 2015.12.02
申请号 CN201510191597.7 申请日期 2015.04.22
申请人 丽智电子(昆山)有限公司 发明人 温国豪;张子岳;邓月忠
分类号 H01L21/48(2006.01)I;B23K26/362(2014.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 董建林
主权项 一种采用激光烧铜的产品加工工艺,包括如下步骤:(1)蚀刻:对目标铜板进行正面蚀刻;(2)对步骤(1)中蚀刻完成的铜板进行固晶、打线和模压;(3)烧铜:对模压后的产品进行烧铜工艺,实现端电极露铜;(4)切割:对烧铜后的产品进行切割,完成产品的加工;其特征在于:步骤(3)中烧铜工艺中采用的是激光烧铜的干式蚀刻工艺。
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