可推顶板状元件之制程装置及其制程方法;PROCESS APPARATUS CAPABLE OF PUSHING PANEL-SHAPED OBJECT AND PROCESS METHOD THEREOF

摘要

一种可推顶板状元件之制程装置，包括一制程装置及至少一板状物件。制程装置包括一承载治具及一分离治具。承载治具具有相对的一上表面及一下表面且具有至少一定位柱。分离治具具有一推顶部。板状物件具有至少一定位孔且被承载于上表面。定位柱伸入定位孔以定位板状物件。推顶部可从下表面往上表面移动并从上表面突伸出，以使板状物件被推顶部顶起而分离于承载治具。此外，适用于此可推顶板状元件之制程装置的制程方法亦被提及。