| 主权项 |
一种曝光装置，把光罩上所形成的图案、透过投影光学系统而曝光至感光性基板，其特征在于包括：基板载台，支撑所述感光性基板，且所述基板载台相对于所述投影光学系统能够移动；导引部，导引所述基板载台的移动；第1及第2下架台部，在第1方向设置间隔而配置；第1及第2中架台部，在与所述第1方向交叉的第2方向设置间隔而配置，所述第1及第2中架台部是载置于所述第1及第2下架台部上；以及上架台部，载置于所述第1及第2中架台部上，所述第1及第2下架台部支撑了：所述导引部、与搭载于所述导引部上的所述基板载台，且所述第1及第2中架台部是：以所述第1及第2中架台部的长方向与所述第1及第2下架台部的长方向为相互交叉的方式，而载置于所述第1及第2下架台部上。
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