蓝宝石晶片加工方法及其加工制程中的中间物

摘要

一种蓝宝石晶片加工方法及其加工制程中的中间物，其中该加工方法包含将一晶棒切割成多数片晶圆；对所切割后的晶圆施以温度介于1200~2300℃之间的高温抛光作业；以及对经过高温抛光作业后之晶圆的至少其中一表面施以化学机械抛光作业。藉此可获得表面具有良好平坦度的晶圆。又，在加工过程中，经高温抛光作业后的晶圆，即为本发明所定义的中间物，该中间物的表面粗度控制于0.1~1微米(μm)之间，且呈半透明的片状体。