偏光相位差板及雷射加工机

主权项

一种偏光相位差板，为于基板的至少一方的主面形成有藉由与基板相同且单一的材料排列复数个凸部之具有一定周期P的绕射光栅，且为利用前述绕射光栅的构造性复折射的偏光相位差板，其中，前述绕射光栅的周期P系入射光的波长为λ、基板材料的折射率为n而满足P<λ/n；前述凸部的剖面形状系从其底部遍及顶部地形成为锥状，基板材料系使用ZnS。