method for measuring temperature of film in reaction chamber

摘要

반응 챔버의 필름 온도 측정 방법이 제공된다. 본 방법은 파장(λ)을 가진 광선을 위한 필름의 감지 영역의 적어도 2개의 샘플링 점들을 포함하는 샘플링 점 세트(sampling point set)의 반사율 샘플링 데이터(R), 및 샘플링 점 세트의 열복사값 샘플링 데이터(E)를 얻는 단계; 적어도 2개의 샘플링 데이터 그룹들의 값들에 따라 제1 정정 인자(α)와 제2 정정 인자(γ)를 얻는 단계(0<α≤1, 0≤γ≤1); 제1 정정 인자(α), 제2 정정 인자(γ), 및 적어도 2개의 샘플링 데이터 그룹들의 값들에 따라 파장(λ)을 가진 광선을 위한 필름의 감지 영역의 흑체 복사값(L)을 얻는 단계; 및 흑체 복사값(L)과 파장(λ)에 따른 룩업 테이블에 의해 감지 영역의 온도(T)를 얻는 단계를 포함한다.