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发明名称 Process for the manufacturing of nano layer and the nano layer produced by this process
摘要
申请公布号 HU1400230(A2) 申请公布日期 2015.11.30
申请号 HU20140000230 申请日期 2014.05.06
申请人 DEBRECENI EGYETEM 发明人 BEKE DEZSOE;SHENOUDA SHANDA;LANGER GABOR;KATONA GABOR;KEKI SANDOR;ZSUGA MIKLOS
分类号 C23C10/00;C23C14/00 主分类号 C23C10/00
代理机构 代理人
主权项
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