| 摘要 |
SP값이 서로 다른 복수 종의 반복 단위를 포함하는 분자 구조를 갖는 수용성 중합체를 함유하는 연마용 조성물이나, 소정의 방법에 의해 구해지는 에칭레이트 및 지립 흡착율이 각각 소정의 범위에 있는 연마용 조성물이 제공된다. 또한, 지립, 염기성 화합물, 염기성 조건하에서 가수분해 반응성을 나타내는 관능기를 갖는 수용성 중합체 H 및 물을 사용하여 연마용 조성물을 제조하는 방법이며, 적어도 상기 염기성 화합물을 포함하는 A제를 준비하는 공정과, 적어도 상기 수용성 중합체 H를 포함하는 B제를 준비하는 공정을 포함하는 연마용 조성물 제조 방법이 제공된다. |
