发明名称 フレネル回折の境界プロファイルを評価する方法
摘要 本発明は、物体、特にストランドの少なくとも1つの縁部の位置を測定する方法に関する。この方法は、少なくとも1つの干渉性光源からの光を用いて物体を照射し、複数の回折境界線が物体によって生じる陰影の両方の幾何学的な境界線に発生し、少なくとも1つの光センサを使用して、少なくとも1つの回折境界線の空間強度プロファイルを記録し、少なくとも1つの記録された強度プロファイルを位置に応じて微分し、二乗の位置軸上にプロットし、当該位置に微分され二乗の位置軸上にプロットされた少なくとも1つの記録された強度プロファイルを、少なくとも1つの周期的な基準強度プロファイルと比較し、終了した比較を基づいて物体の少なくとも1つの縁部の位置を測定する。【選択図】図1
申请公布号 JP2015534086(A) 申请公布日期 2015.11.26
申请号 JP20150541061 申请日期 2013.10.09
申请人 シコラ アーゲー 发明人 ブローム・ヴェルナー;シコラ・ハラルド
分类号 G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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