| 摘要 |
<p>드라이 상태의 막을, 효율적으로 용해 제거한다. 본 발명의 제막 방법은, 기판(200)상에 형성된, 용해성의 막(201)에 노즐 헤드(10B)를 근접시키고, 노즐 헤드(10B)로부터 연속하여 약액(300)을 토출하면서 동시에 흡입함으로써 노즐 헤드(10B)와 막(201) 사이에 약액의 액고임(302)을 형성함과 더불어, 노즐 헤드(10B)와 막(201) 표면을 비접촉 상태로 기판(100)을 수평 이동시킴으로써 약액의 액고임(302)을 기판(100)상에서 상대적으로 이동시키는 것이다.</p> |
