System und Verfahren für ein kapazitives Thermometer
摘要
Hierin offenbarte verschiedene Ausführungsformen umfassen ein kapazitives Thermometer, das eine auslenkbare Membran und eine Erfassungselektrode umfasst. Die auslenkbare Membran ist ausgelegt, einen kapazitiven Wert auf der Grundlage einer Temperatur der auslenkbaren Membran anzupassen.
申请公布号
DE102015108079(A1)
申请公布日期
2015.11.26
申请号
DE201510108079
申请日期
2015.05.21
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
FIGUEIRA DA SILVA, SYLVICLEY;SILVANO DE SOUSA, JONATHAN;FRISCHMUTH, TOBIAS;HEDENIG, URSULA;GRILLE, THOMAS;IRSIGLER, PETER;SCHMID, ULRICH