| 发明名称 | 一种掺杂二氧化铈阻隔层及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种掺杂二氧化铈阻隔层，该阻隔层的化学组成为Mo<sub>x</sub>Ce<sub>0.75</sub>RE<sub>0.25-x</sub>O<sub>δ</sub>，其中0.05≦x<0.25，δ＝1.5x+1.875，所述RE为稀土元素Dy或La。另外，本发明还公开了制备该掺杂二氧化铈阻隔层的方法，该方法为：一、将有机钼盐、有机铈盐和有机稀土盐溶解于丙酸中，得到前驱液；二、将前驱液浸涂于基底上，得到覆着于基底表面的湿膜；三、对湿膜进行保温热处理，在基底表面得到掺杂二氧化铈阻隔层。本发明的阻隔层具有锐利的c轴取向，表面平整且无微裂纹，同时能够有效阻隔镍原子的扩散。 | ||
| 申请公布号 | CN105098055A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201510511277.5 | 申请日期 | 2015.08.19 |
| 申请人 | 西北有色金属研究院 | 发明人 | 金利华;李成山;冯建情;于泽铭;王耀;张平祥 |
| 分类号 | H01L39/12(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I | 主分类号 | H01L39/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人 | 谭文琰 |
| 主权项 | 一种掺杂二氧化铈阻隔层，其特征在于，该阻隔层的化学组成为Mo<sub>x</sub>Ce<sub>0.75</sub>RE<sub>0.25‑x</sub>O<sub>δ</sub>，其中0.05≦x<0.25，δ＝1.5x+1.875，所述RE为稀土元素Dy或La。 | ||
| 地址 | 710016 陕西省西安市未央路96号 | ||