涂覆玻璃基板的设备及方法

摘要

本发明涉及使用一种或多种液态原材料涂覆基板（15）的设备和方法，包括：至少一个雾化器（2），用于将一种或多种液态原材料雾化成微滴（3）；充电部件（4；32），用于在雾化期间或雾化之后对微滴（3）电性充电；以及沉积腔室（16），在所述沉积腔室（16）中微滴（3）沉积在基板（15）上，沉积腔室（16）设置有一个或多个电场，用于将电性充电的微滴（3）引导到基板（15）上。根据本发明，设置有这样的充电腔室（1），所述充电腔室布置在所述沉积腔室（16）的上游，并且设置有用于对该微滴（3）电性充电的充电部件（4）。

主权项

一种使用一种或多种液态原材料涂覆玻璃基板(15)的设备，所述设备包括：－至少一个双流体雾化器(2)，用于将所述一种或多种液态原材料雾化成微滴(3)；－充电部件，用于在雾化期间或雾化之后对所述微滴(3)电性充电；－沉积腔室(16)，用于在所述玻璃基板(15)上提供涂层；－布置在所述沉积腔室(16)上游的单独的充电腔室(1)，用于在将所述微滴(3)引导到所述沉积腔室(16)之前均匀化所述微滴(3)的分布；和－一个或多个电场，所述一个或多个电场设置在第一电极和第二电极(13,14)之间，用于朝向所述玻璃基板(15)引导电性充电的所述微滴(3)，其特征在于，－所述充电腔室设置有所述充电部件，用于对所述微滴(3)电性充电，并且在所述沉积腔室(16)的上游提供电性充电的微滴(3)的均匀流量，在所述沉积腔室(16)中，设置在第一电极和第二电极(13,14)之间的所述一个或多个电场布置成用于朝向所述玻璃基板(15)引导电性充电的所述微滴(3)。