发明名称 准三维光子晶体窄线宽激光器
摘要 一种准三维光子晶体窄线宽激光器,包括:一n型衬底;一外延结构,其制作在n型衬底上;一有源层,其制作在外延结构上;一覆盖层,其制作在有源层上,该覆盖层上面的一侧形成多个凸起的宽条光栅,该覆盖层上面的中间为一平面区域,该覆盖层上面的另一侧形成多个凸起的窄条光栅。本发明具有窄线宽、低发散角的优点。
申请公布号 CN105098582A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510590526.4 申请日期 2015.09.16
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 郑婉华;刘云;渠红伟;刘磊;王宇飞
分类号 H01S3/10(2006.01)I 主分类号 H01S3/10(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 任岩
主权项 一种准三维光子晶体窄线宽激光器,包括:一n型衬底;一外延结构,其制作在n型衬底上;一有源层,其制作在外延结构上;一覆盖层,其制作在有源层上,该覆盖层上面的一侧形成多个凸起的宽条光栅,该覆盖层上面的中间为一平面区域,该覆盖层上面的另一侧形成多个凸起的窄条光栅。
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号