发明名称 | 准三维光子晶体窄线宽激光器 | ||
摘要 | 一种准三维光子晶体窄线宽激光器,包括:一n型衬底;一外延结构,其制作在n型衬底上;一有源层,其制作在外延结构上;一覆盖层,其制作在有源层上,该覆盖层上面的一侧形成多个凸起的宽条光栅,该覆盖层上面的中间为一平面区域,该覆盖层上面的另一侧形成多个凸起的窄条光栅。本发明具有窄线宽、低发散角的优点。 | ||
申请公布号 | CN105098582A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
申请号 | CN201510590526.4 | 申请日期 | 2015.09.16 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 郑婉华;刘云;渠红伟;刘磊;王宇飞 |
分类号 | H01S3/10(2006.01)I | 主分类号 | H01S3/10(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
主权项 | 一种准三维光子晶体窄线宽激光器,包括:一n型衬底;一外延结构,其制作在n型衬底上;一有源层,其制作在外延结构上;一覆盖层,其制作在有源层上,该覆盖层上面的一侧形成多个凸起的宽条光栅,该覆盖层上面的中间为一平面区域,该覆盖层上面的另一侧形成多个凸起的窄条光栅。 | ||
地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |