真空镀膜腔室阀门启闭装置

摘要

本实用新型公开了一种便于设备安装调试和日常维护的真空镀膜腔室阀门启闭装置，其包括转动轴、连杆、固定座、活动座和密封梁；固定座通过至少两颗固定螺钉固定安装在镀膜腔室外壁上；转动轴贯穿于固定座，且转动轴与固定座之间存在一间隙；连杆通过至少一颗内六角螺钉与转动轴固定连接；活动座的横向通过至少一颗传动销轴安装在连杆上；密封梁通过至少一锁紧机构固定安装在活动座的纵向。

主权项

真空镀膜腔室阀门启闭装置，其特征在于：包括转动轴(1)、连杆(2)、固定座(3)、活动座(4)和密封梁(5)；所述固定座(3)的两侧各至少通过一颗固定螺钉(31)固定安装在镀膜腔室外壁(6)上；所述转动轴(1)贯穿于所述固定座(3)，且所述转动轴(1)与所述固定座(3)之间存在一间隙；所述连杆(2)通过至少一颗内六角螺钉安装在所述转动轴(1)上；所述活动座(4)的横向通过至少一颗传动销轴(41)安装在所述连杆(2)上；所述密封梁(5)通过至少一锁紧机构固定安装在所述活动座(4)的纵向。