发明名称 | 掩膜板 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种掩膜板,其包括非金属层和贯穿所述非金属层的镂空图案。 | ||
申请公布号 | CN204803391U | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
申请号 | CN201420854725.2 | 申请日期 | 2014.12.30 |
申请人 | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 潘晟恺 |
分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 李亚非;景军平 |
主权项 | 一种掩膜板,包括非金属层和贯穿所述非金属层的镂空图案,其特征在于所述非金属层是预拉伸的。 | ||
地址 | 230011 安徽省合肥市新站区胜利路88号 |