| 摘要 |
나노입자 분별 장치(1)는, 직렬적으로 배열되어 서로 격벽(5)으로 나누어진 복수의 챔버(9)와, 증발될 재료(4)가 배설된 생성챔버(2)와, 상기 재료(4)로부터 생성된 나노입자(8a~8c)를 성막하기 위한 기판(7)이 배설된 복수의 성막챔버(3a~3c)와, 인접하는 상기 복수의 챔버(9)를 서로 연통하기 위해 상기 격벽(5)을 각각 관통하여 설치된 복수의 연통관(6)과, 상기 생성챔버(2)에 연통하여 냉각가스를 도입하기 위한 가스도입관(10)과, 상기 복수의 챔버(9) 중, 상기 생성챔버(2)로부터 가장 먼 위치에 배치된 챔버(9)이며 동시에 상기 성막챔버(3c)인 고진공챔버(13)에 연통하여 진공 흡인하기 위한 진공배관(14)을 구비하고 있다. |
