一种多晶硅薄膜的质量检测方法和系统

摘要

本发明提供了一种多晶硅薄膜的质量检测方法和系统。本发明的质量检测，具体包括：向表面上形成有多晶硅薄膜的基板照射光，并对所述多晶硅薄膜进行拍摄，以获得薄膜图像；按照设定的尺寸将所述薄膜图像分割成多个图像单元；获取所述图像单元中所述多晶硅薄膜的显示参数，并将所述显示参数与预设参数进行对比，以获取对比结果；根据各所述图像单元中所述多晶硅薄膜的显示参数与所述预设参数的对比结果获取合格的所述图像单元的数量；根据合格的所述图像单元的数量和所述图像单元的总数量确定所述多晶硅薄膜的质量；本发明的质量检测方法与现有质量检测方法相比，提高了质量检测的准确性和效率，从而降低了成本。

主权项

一种多晶硅薄膜的质量检测方法，其特征在于，包括如下步骤：向表面上形成有多晶硅薄膜的基板照射光，并对所述多晶硅薄膜进行拍摄，以获得薄膜图像；按照设定的尺寸将所述薄膜图像分割成多个图像单元；获取所述图像单元中所述多晶硅薄膜的显示参数，并将所述显示参数与预设参数进行对比，以获取对比结果；根据各所述图像单元中所述多晶硅薄膜的显示参数与所述预设参数的对比结果获取合格的所述图像单元的数量；根据合格的所述图像单元的数量和所述图像单元的总数量确定所述多晶硅薄膜的质量。