具备非接触式旋转装置的基板洗净装置

摘要

本发明涉及一种具备非接触式旋转装置的基板洗净装置，作为基板洗净装置，其特征在于包括：下部滚筒(10)，其以下部滚筒轴(11)为中心旋转；上部滚筒(20)，其与所述下部滚筒(10)平行地配备于所述下部滚筒(10)上部；下部粘着滚筒(30)，其平行地配备于所述下部滚筒(10)的下部；上部粘着滚筒(40)，其平行地配备于所述上部滚筒(20)的下部；导辊部(50)，其以翻滚轴(51)为中心旋转，在行进的基板的下部进行引导，使基板通过所述上部滚筒(20)与下部滚筒(10)之间；驱动部(60)，其支撑、固定于框架(1)，使所述导辊部(50)、下部滚筒(10)及上部滚筒(20)中的至少一者旋转；驱动部(60)，其支撑、固定于框架(1)，使所述导辊部(50)、下部滚筒(10)及上部滚筒(20)中的至少一者旋转。

主权项

一种具备非接触式旋转装置的基板洗净装置，作为基板洗净装置，其特征在于包括：下部滚筒(10)，其以下部滚筒轴(11)为中心旋转；上部滚筒(20)，其与所述下部滚筒(10)平行地配备于所述下部滚筒(10)上部；下部粘着滚筒(30)，其平行地配备于所述下部滚筒(10)的下部；上部粘着滚筒(40)，其平行地配备于所述上部滚筒(20)的下部；导辊部(50)，其以翻滚轴(51)为中心旋转，在行进的基板的下部进行引导，使基板通过所述上部滚筒(20)与下部滚筒(10)之间；驱动部(60)，其支撑、固定于框架(1)，使所述导辊部(50)、下部滚筒(10)及上部滚筒(20)中的至少一者旋转；所述驱动部(60)使所述导辊部(50)以非接触式旋转；所述驱动部(60)使所述下部滚筒(10)以非接触式旋转；所述导辊部(50)与所述下部滚筒(10)的两端能转动地支撑、固定于第1滑动支撑体所述第1滑动支撑体(B1)构成得能沿固定于框架(1)的导轨(R)插入、拔出。